توضع مواد تبخير مثل المعادن والمركبات وغيرها في بوتقة أو معلقة على السلك الساخن كمصدر للتبخر ، والركائز التي يجب أن تكون مطلية مثل المعادن ، والسيراميك ، واللدائن ، وما إلى ذلك ، توضع أمام البوتقة. بعد ضخ النظام إلى فراغ عالي ، يتم تبخير المادة بتسخين البوتقة. تترسب ذرات أو جزيئات المادة المبخرة على سطح الركيزة بطريقة مكثفة. يمكن أن تتراوح سماكة الفيلم من مئات الأنجستروم إلى عدة ميكرونات. يتم تحديد سماكة الفيلم بمعدل التبخر ووقت مصدر التبخير (أو اعتمادا على كمية الشحنة) ويرتبط بالمسافة بين المصدر والطبقة التحتية. بالنسبة لطلاء المساحات الكبيرة ، فإن الركيزة الدورية أو مصادر التبخر المتعددة تستخدم غالبًا لضمان اتساق سماكة الفيلم. يجب أن تكون المسافة من مصدر التبخر إلى الطبقة السفلية أقل من متوسط المسار الحر لجزيئات البخار في الغاز المتبقي بحيث لا تتصادم جزيئات البخار مع جزيئات الغاز المتبقية لتسبب تفاعلات كيميائية. متوسط الطاقة الحركية لجزيئات البخار هو حوالي 0.1-0.2 إلكترون فولت.
توضع مواد تبخير مثل المعادن والمركبات وغيرها في بوتقة أو معلقة على السلك الساخن كمصدر للتبخر ، والركائز التي يجب أن تكون مطلية مثل المعادن ، والسيراميك ، واللدائن ، وما إلى ذلك ، توضع أمام البوتقة. بعد ضخ النظام إلى فراغ عالي ، يتم تبخير المادة بتسخين البوتقة. تترسب ذرات أو جزيئات المادة المبخرة على سطح الركيزة بطريقة مكثفة. يمكن أن تتراوح سماكة الفيلم من مئات الأنجستروم إلى عدة ميكرونات. يتم تحديد سماكة الفيلم بمعدل التبخر ووقت مصدر التبخير (أو اعتمادا على كمية الشحنة) ويرتبط بالمسافة بين المصدر والطبقة التحتية. بالنسبة لطلاء المساحات الكبيرة ، فإن الركيزة الدورية أو مصادر التبخر المتعددة تستخدم غالبًا لضمان اتساق سماكة الفيلم. يجب أن تكون المسافة من مصدر التبخر إلى الطبقة السفلية أقل من متوسط المسار الحر لجزيئات البخار في الغاز المتبقي بحيث لا تتصادم جزيئات البخار مع جزيئات الغاز المتبقية لتسبب تفاعلات كيميائية. متوسط الطاقة الحركية لجزيئات البخار هو حوالي 0.1-0.2 إلكترون فولت.
هناك ثلاثة أنواع من مصادر التبخر. (1) مصدر تسخين المقاومة: يستخدم معدن حراري مثل التنجستن أو التنتالوم لتشكيل رقائق القوارب أو خيوط ، يتم تسخينها بواسطة تيار كهربائي ، تسخن فوقه ، أو وضعها في بوتقة (الشكل 1) رسم تخطيطي للتبخر معدات طلاء]). يستخدم المصدر أساسا لتتبخر Cd ، Pb ، Ag ، Al ، Cu ، Cr ، Au ، Ni والمواد الأخرى. 2 مصدر التدفئة التعريفي عالية التردد: استخدام عالية التردد الحث الحالي لتسخين الهيليوم والمواد المبخره. 3 مصدر تسخين شعاع الالكترون: مناسبة للمواد ذات درجة حرارة التبخر العالية (لا تقل عن 2000 [618-1]) ، أي قذف المادة مع شعاع الالكترون لتتبخر.